1、加盟费：加盟费是加入头疗馆品牌的基本费用，用于获取加盟权益和品牌授权。加盟费的数额因品牌而异，一般在数万元到数十万元之间。

2、设备费用：开办头疗馆需要购买各种设备，包括按摩床、设备器械、仪器等。设备费用因店铺规模和设备品质而异，一般在数万元到十数万元之间。

3、装修费用：头疗馆需要进行店铺装修，包括室内装修、装饰、灯光音响等。装修费用因店铺面积和装修档次而异，一般在数万元到十数万元之间。

4、店面租金：租用头疗馆的店铺需要支付租金，租金的数额因地理位置、面积和租期而异。

5、杂费及其他费用：包括开业前的宣传费、员工培训费、保证金等。这些费用因品牌和加盟政策而异。

需要注意的是，以上费用仅为一般范围，具体的加盟费用还需要根据具体品牌的要求和加盟合同的内容进行详细协商。建议在加盟之前，与头疗馆品牌方进行深入沟通，了解清楚加盟费用的具体细节和支付方式。